真空機(jī)組一般根據(jù)主泵的類(lèi)型來(lái)命名，也可以按照真空應(yīng)用范圍來(lái)劃分，可分為低真空機(jī)組、中真空機(jī)組、高真空機(jī)組及真空機(jī)組。不同類(lèi)型的真空機(jī)組應(yīng)用于不同的作業(yè)情況，以下是不同類(lèi)型真空機(jī)組的特點(diǎn)。
　　低真空機(jī)組工作需要的壓力高，并且排氣量大，多用于真空輸送、真空浸漬、真空過(guò)濾、真空干燥和真空脫氣等。低真空機(jī)組常用的主泵，容積式真空泵中的往復(fù)泵、水環(huán)泵、油封機(jī)械泵、螺桿真空泵、濕式羅茨泵以及噴射泵、分子篩吸附泵等這些直排大氣型的真空泵都可以勝任，但根據(jù)被抽氣體的清潔程度、濕度及其他條件，需配置除塵器、氣水油水分離器、干燥阱等設(shè)施。
　　中真空機(jī)組，適用于需要大抽速和獲得中真空的各種真空系統(tǒng)中，如鍍膜機(jī)、真空冶煉、真空熱處理及醫(yī)藥化工、電工焊接等行業(yè)。以往中真空機(jī)組由羅茨真空泵+油封機(jī)械泵、羅茨真空+水環(huán)真空泵以及雙羅茨真空泵這樣的組合居多。隨著螺桿真空泵這樣的無(wú)油真空泵的興起，羅茨真空泵+螺桿真空泵這樣的無(wú)油真空機(jī)組也逐漸增多，適應(yīng)性更廣。
　　高真空機(jī)組工作于分子流狀態(tài)下，工作壓力區(qū)間在10-2～10-6Pa，排量小、抽速大，一般情況下主泵由擴(kuò)散泵、分子泵、鈦升華泵以及低溫冷凝泵等來(lái)承擔(dān)，由于它們無(wú)法直接在大氣下工作，因此須配置前級(jí)泵、預(yù)抽泵等，特殊情況下為防止氣壓波動(dòng)還需要配置維持泵與儲(chǔ)氣罐等。
　　真空機(jī)組工作壓力區(qū)間在10-6～10-10Pa，需要主泵的真空要在10-7～10-8Pa以上且在工作壓力區(qū)間內(nèi)保證相應(yīng)的抽速，如濺射離子泵、渦輪分子泵等，而且對(duì)系統(tǒng)組成的材料要求能經(jīng)受200～450℃高溫烘烤并保證低漏氣率與出氣率等等。
　　以上就是從真空應(yīng)用方面區(qū)分不同的真空機(jī)組，以及介紹它們各自的特點(diǎn)。也可以根據(jù)產(chǎn)品的特點(diǎn)來(lái)進(jìn)行分類(lèi)，如含油真空機(jī)組與無(wú)油真空機(jī)組等，隨著真空技術(shù)的快速發(fā)展，真空機(jī)組的種類(lèi)不限于現(xiàn)在的種類(lèi)，會(huì)有更多有特色的真空機(jī)組被研發(fā)出來(lái)。